Гэта абноўленая версія EM8000 з мадэрнізаваным паскарэннем трубкі E-Beam, змяняе вакуумны рэжым, даступны для назірання за неправадніковым узорам пры нізкім напружанні без распылення, лёгкай, зручнай і дружалюбнай аперацыйнай сістэмай, планам мадэрнізацыі некалькіх пашырэнняў. Гэта таксама першы FEG SEM з дазволам 1 нм (30 кВ).