Перавагі:
Гэтая помпа добра працуе пры жорсткіх умовах навакольнага асяроддзя (высокая тэмпература, пыл і г.
Прыкладання:
Асноўныя сферы прымянення: выяўленне прамысловых уцечак, PVD, CVD, іённая імплантацыя, вытворчасць вакуумных электронных кампанентаў, нізкаэмісійнае шкло, шкло ITO, аптычнае пакрыццё, сонечныя батарэі, зварка электроннымі прамянямі, вакуумная печ і іншыя галіны прамысловасці
Тэхнічныя характарыстыкі:
Фланец "У" | DN400 ISO-K | Газ на ўсім працягу (sccm) | N2: 5500 |
Фланец (Выхад) KF | DN100 | Ён: 4000 | |
Хуткасць прапампоўкі (л/с) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Ён: 2650 | Прыкладна: 2100 | ||
H2: 1280 | Хуткасць кручэння (аб / мін) | 13500 | |
Арг .: 3200 | Час разбегу (мін.) | ≤18 | |
Каэфіцыент сціску | N2: 108 | Тып астуджэння, стандартны | Вада |
Ён: 103 | Выдатак астуджальнай вады (л/мін) | ≥1 | |
H2: 102 | Тэмпература астуджальнай вады (℃) | ≤25 | |
Артыкул: 108 | Падключэнне да электрасілкавання: Напружанне (V AC) | DC24/AC220 | |
Канчатковы ціск (Па) | 6 × 10-6 | Макс. Спажываная магутнасць, Вт) | ≤1100 |
Макс. Бесперапыннае ціск у вакууме (Па) | 100 | Мадэль кантролера | FD-III |
Макс. Перадвакуумны ціск | N2: 300 | Вага (кг) | 130 |